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首先、無塵車間一般包括潔淨區、準潔淨區和輔助區三部分。平面布置可以有以下幾種方式:
外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊内設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
内廊式:無塵車間設在外圍,而走廊設在内部,這種走廊的潔淨度級别一般都較高,甚至和無塵車間同級。
兩端式:潔淨區設在一邊,另一邊設準潔淨和輔助用房。
核心式:爲了節約用地、縮短管線,可以潔淨區爲核心,上下左右被各種輔助用房和隐蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔淨區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能。

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